曝光機(jī)高壓電源能效分級標(biāo)準(zhǔn)

隨著半導(dǎo)體行業(yè) “雙碳” 目標(biāo)推進(jìn)，曝光機(jī)高壓電源（年耗電量超 1 萬度 / 臺）的能效成為關(guān)鍵指標(biāo)，但當(dāng)前行業(yè)缺乏統(tǒng)一分級標(biāo)準(zhǔn)，導(dǎo)致廠商能效標(biāo)注混亂（如部分廠商僅標(biāo)注額定負(fù)載能效，回避輕載低效問題），用戶選型無據(jù)可依，造成能源浪費 —— 據(jù)統(tǒng)計，低效電源（能效＜85%）比高效電源（能效＞92%）年多耗電 1200 度，行業(yè)整體年浪費電能超 1 億度。
制定能效分級標(biāo)準(zhǔn)需明確 “指標(biāo)定義、測試方法、等級劃分” 三大核心：指標(biāo)定義層面，采用 “綜合能效系數(shù)（CEC）” 作為分級依據(jù)，涵蓋額定負(fù)載能效（負(fù)載率 100%）、輕載能效（負(fù)載率 30%）、待機(jī)功耗（負(fù)載率 0%）三個維度，權(quán)重分別為 50%、30%、20%，避免單一指標(biāo)導(dǎo)致的 “額定高效、輕載低效” 問題；測試方法層面，參照 IEC 61204-3 標(biāo)準(zhǔn)，在環(huán)境溫度 25℃±5℃、輸入電壓 220V±10% 條件下，采用功率分析儀（精度 0.1 級）測量不同負(fù)載率下的輸入功率與輸出功率，計算能效值，待機(jī)功耗測試需持續(xù) 1 小時，取平均值；等級劃分層面，將 CEC 值分為 5 級，1 級為最高效（CEC≥92%，待機(jī)功耗≤5W），2 級（CEC 89%-91%，待機(jī)功耗≤8W），3 級（CEC 86%-88%，待機(jī)功耗≤12W），4 級（CEC 83%-85%，待機(jī)功耗≤15W），5 級為準(zhǔn)入級（CEC≥80%，待機(jī)功耗≤20W），同時規(guī)定 2026 年起禁止生產(chǎn) 5 級電源，2028 年起禁止銷售 4 級電源。
標(biāo)準(zhǔn)實施后，將推動行業(yè)能效提升：一是引導(dǎo)技術(shù)研發(fā)，廠商需優(yōu)化拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)（如采用 LLC 諧振拓?fù)洌p載能效提升 5%）、改進(jìn)散熱設(shè)計（減少散熱損耗）；二是幫助用戶選型，某半導(dǎo)體園區(qū)采購 100 臺 1 級能效電源，年節(jié)電 12 萬度，折合電費 9.6 萬元；三是規(guī)范市場秩序，避免 “能效虛標(biāo)”，促進(jìn)行業(yè)良性競爭。