濺射
濺射就是一種利用帶電粒子轟擊靶材，使靶材表面的原子或分子逸出，并沉積在基底上形成薄膜的過程。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、磁盤鍍膜、建筑玻璃鍍膜等領(lǐng)域。直流濺射??，主要用于濺射??金屬靶材??（如金、銀、銅、鋁、鈦等）和??一些導(dǎo)電性較好的合金靶材??。反應(yīng)濺射，通入反應(yīng)氣體（如氧氣、氮?dú)猓胁脑优c氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成化合物薄膜（如氧化鋁、氮化鈦）常用于??導(dǎo)電性較差的靶材??。
