透射電鏡（TEM）

極低紋波和超穩(wěn)定輸出（1ppm級(jí)） 高電壓輸出與寬調(diào)范圍（0-400kV） 高可靠性與長壽命 智能化與數(shù)字化控制 可提供高度定制化的解決方案

透射電子顯微鏡（TEM）利用加速電子束穿透超薄樣品，通過電子與原子碰撞產(chǎn)生的散射角差異形成影像，分辨率達(dá)0.1～0.2nm，放大倍數(shù)幾萬至百萬倍，廣泛應(yīng)用于超微結(jié)構(gòu)觀察。在半導(dǎo)體領(lǐng)域，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料的晶體結(jié)構(gòu)分析、半導(dǎo)體器件的結(jié)構(gòu)表征、半導(dǎo)體材料的摻雜分布與擴(kuò)散、半導(dǎo)體器件的失效分析、半導(dǎo)體制造工藝中的結(jié)構(gòu)優(yōu)化等。