TESC7080
泰思曼 TESC7080 系列高壓電源專為靜電卡盤的應(yīng)用而設(shè)計，能夠在 10ms 內(nèi)輸出精確的電壓，并在1s 內(nèi)切換極性，從而為半導(dǎo)體制程過程提供保護(hù)。它具有可逆的對地參考輸出極性，也可以輸出浮地雙極電壓，并有相應(yīng)的浮地接口。它還有完善的故障診斷和狀態(tài)監(jiān)測功能，可以將數(shù)據(jù)傳送到用戶界面。它的封裝設(shè)計緊湊輕便，可 OEM。
典型應(yīng)用：E-Chuck；靜電卡盤；靜電吸盤；靜電吸附系統(tǒng)
產(chǎn)品資料 返回列表產(chǎn)品特點
- 浮地;雙極性輸出;極性可切換
- 中心點監(jiān)測
- +24V DC 輸入
- 模擬量控制/485 控制/以太網(wǎng)控制
- 是否有綜合的故障診斷電路（監(jiān)測電源功能并將狀態(tài)數(shù)據(jù)傳送到用戶界面）
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產(chǎn)品規(guī)格
輸入電壓
+24VDC±5%，5A。
輸出極性
浮地，雙極性輸出,極性可切換。
最大輸出電壓
0 至±5kV。
最大輸出電流
2mA。
最大輸出功率
20W。
電壓調(diào)節(jié)
負(fù)載:≤0.001%(空載到額定負(fù)載)。
轉(zhuǎn)換速率
典型 1s
最大循環(huán)頻率
0.5Hz。
過沖
<設(shè)定值的 10%
紋波
在額定輸出條件下，優(yōu)于 3ppm (p-p)。
線路
在任何負(fù)載條件下，10%輸入電壓變化<0.1%
負(fù)載
從零到滿負(fù)載<1.3%。
電壓顯示
分辨率= 100V。精度=實際輸出的±1%(±10V 偏置)。
電流顯示
分辨率=100μA。精度=實際輸出±100μA 偏移的±2%。
典型負(fù)載電容
<20nF(對于其他負(fù)載電容，請聯(lián)系泰思曼)。
保護(hù)
電弧和短路保護(hù)。配備輸入和輸出電流限制。輸出電流限值可設(shè)置在 0.1mA 至 2mA 范圍內(nèi)。連續(xù)電弧保護(hù)方式需定制。
通信
通過 DB9 模擬量控制，也可選擇 RS-485 串行接口、USB 或以太網(wǎng)進(jìn)行控制。
注意
當(dāng)以太網(wǎng)連接到 LAN 端口/485 連接時，串行通信將被禁用。
前面板控制
具有用于本地控制的前面板按鈕。
切換
手動改變輸出極性。
輸出開/關(guān)
軟開關(guān)方式控制高壓輸出。
旋轉(zhuǎn)控制/輸入
用于導(dǎo)航和輸入值更改。
穩(wěn)定性
開機(jī) 0.5 小時后每 8 小時小于 0.3%。
溫度系數(shù)
電壓和電流優(yōu)于 300ppm/℃。滿載時<0.1%p-p，最大輸出。
環(huán)境溫度
工作時
0?C 至 45?C
儲存時
-20?C 至 70?C
濕度
0 至 85%RH，非冷凝。
冷卻
自然冷卻。