TESC7080
泰思曼 TESC7080 系列靜電卡盤專用高壓電源，提供±5kV 精準(zhǔn)輸出（精度±1%，紋波<100mVp-p），漏電流監(jiān)控保護(hù)值 0-40mA 可設(shè)置，支持 100nF 內(nèi)在位電容檢測(cè)。具備 20ms 快速過(guò)零切換能力，集成多重保護(hù)功能，支持模擬量/RS485 控制及液晶顯示。已應(yīng)用于半導(dǎo)體離子注入和刻蝕設(shè)備中，性能穩(wěn)定可靠。它的封裝設(shè)計(jì)緊湊輕便，可 OEM。
典型應(yīng)用：E-Chuck；靜電卡盤；靜電吸盤；靜電吸附系統(tǒng)
產(chǎn)品資料 返回列表產(chǎn)品特點(diǎn)
- +24V DC 輸入
- 雙極性輸出 20ms 極性切換
- 平滑過(guò)零
- 模擬量控制/485 控制
- 100nF 內(nèi)在位電容檢測(cè)
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產(chǎn)品規(guī)格
輸入
+24VDC±5%，5A。
通道數(shù)
2 路，每路獨(dú)立可調(diào)
調(diào)節(jié)范圍
每路-5kV~+5kV 連續(xù)可調(diào)
電壓精度
額定值±1%
紋波
典型＜100mVp-p（10nf 下，0~1MHz，平頂紋波）
過(guò)零特性
支持
過(guò)沖（超調(diào)/失調(diào)）
典型<2V（10nf 負(fù)載時(shí)，從-5kV 到+5kV）
輸入到輸出延時(shí)
優(yōu)于 3ms
轉(zhuǎn)換（升/降）速率
典型 20ms（10nf 負(fù)載時(shí)，從-5kV 到+5kV）
循環(huán)頻率
典型 50Hz（10nf 負(fù)載時(shí)，從-5kV 到+5kV）
輸出阻抗
＞20kΩ（單路）
電壓顯示
分辨率= 1V 精度優(yōu)于±50V
電流顯示
分辨率=10μA 精度=實(shí)際輸出±100μA 偏移的±2%
穩(wěn)定度
開機(jī) 0.5 小時(shí)后每 8 小時(shí)小于 0.01%。
輸入調(diào)整率
在任何負(fù)載條件下，10%輸入電壓變化<0.1%
負(fù)載調(diào)整率
從零到滿負(fù)載<1.3%
保護(hù)
輸入過(guò)/欠壓、過(guò)流保護(hù)，輸出過(guò)壓、過(guò)流、過(guò)溫
前面板控制
液晶顯示屏，電壓調(diào)節(jié)、電流設(shè)定、一鍵 d-chuck 等
通信
通過(guò) DB25 模擬量控制，也可選擇 RS-485 串行接口（其他接口可定制）
控制信號(hào)
0 對(duì)應(yīng)-5kV，5V 對(duì)應(yīng) 0kV，10V 對(duì)應(yīng)+5kV（其他形式可定制）
典型負(fù)載電容
<10nF(對(duì)于其他負(fù)載電容，請(qǐng)聯(lián)系泰思曼)
在位電容檢測(cè)范圍
100nF 以內(nèi)
溫度系數(shù)
電壓和電流優(yōu)于 300ppm/℃ 滿載時(shí)<0.1%p-p，最大輸出
環(huán)境溫度
工作時(shí)
0?C 至 45?C
儲(chǔ)存時(shí)
-20?C 至 70?C
濕度
0 至 85%RH，非冷凝
冷卻
自然冷卻
外形尺寸
寬 241 mm ，高 88 mm ，深 411mm。