TESC7080
泰思曼 TESC7080 系列靜電卡盤專用高壓電源，提供±5kV 精準輸出（精度±1%，紋波<100mVp-p），漏電流監(jiān)控保護值 0-40mA 可設置，支持 100nF 內(nèi)在位電容檢測。具備 20ms 快速過零切換能力，集成多重保護功能，支持模擬量/RS485 控制及液晶顯示。已應用于半導體離子注入和刻蝕設備中，性能穩(wěn)定可靠。它的封裝設計緊湊輕便，可 OEM。
典型應用：E-Chuck；靜電卡盤；靜電吸盤；靜電吸附系統(tǒng)
產(chǎn)品資料 返回列表產(chǎn)品特點
- +24V DC 輸入
- 雙極性輸出 20ms 極性切換
- 平滑過零
- 模擬量控制/485 控制
- 100nF-10nF/10nF-1nF 可選在位電容檢測范圍
- 在位電容檢測速度 1s 內(nèi) 10 次
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產(chǎn)品規(guī)格
輸入
+24VDC±5%，5A。
通道數(shù)
2 路，每路獨立可調(diào)
調(diào)節(jié)范圍
每路-5kV~+5kV 連續(xù)可調(diào)
電壓精度
額定值±1%
紋波
典型＜100mVp-p（10nf 下，0~1MHz，平頂紋波）
過零特性
支持
過沖（超調(diào)/失調(diào)）
典型<2V（10nf 負載時，從-5kV 到+5kV）
輸入到輸出延時
優(yōu)于 3ms
轉(zhuǎn)換（升/降）速率
典型 20ms（10nf 負載時，從-5kV 到+5kV）
循環(huán)頻率
典型 50Hz（10nf 負載時，從-5kV 到+5kV）
輸出阻抗
＞20kΩ（單路）
電壓顯示
分辨率= 1V 精度優(yōu)于±50V
電流顯示
分辨率=10μA 精度=實際輸出±100μA 偏移的±2%
穩(wěn)定度
開機 0.5 小時后每 8 小時小于 0.01%。
輸入調(diào)整率
在任何負載條件下，10%輸入電壓變化<0.1%
負載調(diào)整率
從零到滿負載<1.3%
保護
輸入過/欠壓、過流保護，輸出過壓、過流、過溫
前面板控制
液晶顯示屏，電壓調(diào)節(jié)、電流設定、一鍵 d-chuck 等
通信
通過 DB25 模擬量控制，也可選擇 RS-485 串行接口（其他接口可定制）
控制信號
0 對應-5kV，5V 對應 0kV，10V 對應+5kV（其他形式可定制）
典型負載電容
<10nF(對于其他負載電容，請聯(lián)系泰思曼)
在位電容檢測范圍
100nF 以內(nèi)
溫度系數(shù)
電壓和電流優(yōu)于 300ppm/℃ 滿載時<0.1%p-p，最大輸出
環(huán)境溫度
工作時
0?C 至 45?C
儲存時
-20?C 至 70?C
濕度
0 至 85%RH，非冷凝
冷卻
自然冷卻
外形尺寸
寬 241 mm ，高 88 mm ，深 411mm。