技術(shù)資源
蝕刻設(shè)備高壓電源動(dòng)態(tài)功率調(diào)節(jié)技術(shù)應(yīng)用
精確控制能量輸出，實(shí)現(xiàn)微觀世界的雕刻藝術(shù)。在半導(dǎo)體制造和精密加工領(lǐng)域，蝕刻工藝是決定器件性能與良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。而高壓電源作為蝕刻設(shè)
曝光機(jī)高壓電源低功耗方案探索
在半導(dǎo)體制造、印刷電路板（PCB）及平板顯示等行業(yè)中，曝光機(jī)是關(guān)鍵設(shè)備，其核心光源——如超高壓汞燈——需要穩(wěn)定可靠的高壓電源進(jìn)行驅(qū)動(dòng)
電子束高壓電源溫度自適應(yīng)控制技術(shù)研究
電子束技術(shù)在現(xiàn)代工業(yè)與科研中具有重要作用，其性能穩(wěn)定性很大程度上依賴于高壓電源的輸出質(zhì)量。高壓電源的溫度穩(wěn)定性直接決定了電子束的品
曝光機(jī)高壓電源啟動(dòng)保護(hù)策略
曝光機(jī)作為精密制造的核心設(shè)備，其高壓電源的穩(wěn)定性直接決定成像質(zhì)量與設(shè)備壽命。高壓電源在啟動(dòng)瞬間承受巨大應(yīng)力，有效的保護(hù)策略不僅是安
電子束高壓電源冗余架構(gòu)設(shè)計(jì)
在高能物理研究、工業(yè)焊接、精密加工及醫(yī)療設(shè)備等高端領(lǐng)域，電子束高壓電源的穩(wěn)定性與可靠性直接決定了整個(gè)系統(tǒng)的性能與安全。由于這些應(yīng)用
曝光機(jī)高壓電源高頻化技術(shù)研究
高壓電源作為曝光機(jī)的核心部件，其性能直接決定了曝光精度、能效和系統(tǒng)穩(wěn)定性。傳統(tǒng)工頻高壓電源存在體積大、響應(yīng)慢、控制精度低等問題，難
離子注入高壓電源智能梯度升壓技術(shù)：精密制造的新引擎
離子注入技術(shù)是半導(dǎo)體制造的核心工藝之一，通過高能離子束對材料表面進(jìn)行精確摻雜，可調(diào)控材料的電學(xué)特性（如導(dǎo)電性、抗輻射性）。該工藝的
高壓電源在靜電卡盤介質(zhì)損耗實(shí)時(shí)監(jiān)測中的關(guān)鍵技術(shù)
在半導(dǎo)體制造工藝中，靜電卡盤（ESC）通過高壓電場吸附晶圓，其高壓電源的穩(wěn)定性直接影響工藝精度。而介質(zhì)損耗（tanδ）作為評估絕緣
超導(dǎo)磁儲能在電鏡高壓電源穩(wěn)壓中的應(yīng)用價(jià)值
電鏡（電子顯微鏡）的高壓電源系統(tǒng)對電壓穩(wěn)定性和紋波系數(shù)有著近乎苛刻的要求。傳統(tǒng)線性電源或開關(guān)電源雖能滿足基礎(chǔ)需求，但在應(yīng)對微秒級電