技術(shù)資源
高壓電源在蝕刻設(shè)備中等離子體共振抑制的應(yīng)用性研究
等離子體共振是半導(dǎo)體蝕刻工藝中的常見問題，其本質(zhì)是射頻能量與等離子體負載的阻抗失配引發(fā)的駐波效應(yīng)。這種失配會導(dǎo)致反射功率劇增、等離
準分子激光高壓電源放電均勻性提升的關(guān)鍵技術(shù)路徑
準分子激光器（如ArF、KrF）作為深紫外波段的高功率脈沖光源，在光刻、微加工及醫(yī)療領(lǐng)域具有不可替代的地位。其性能核心取決于高壓電源放電
電子束高壓電源寬幅調(diào)節(jié)技術(shù)的應(yīng)用突破
電子束加工技術(shù)（焊接、熔覆、3D打印等）的核心在于電子束能量密度的精確控制，而高壓電源的寬幅調(diào)節(jié)能力是實現(xiàn)這一目標的關(guān)鍵。隨著高頻逆
高壓電源在曝光機中的數(shù)字化改造與應(yīng)用演進
摘要隨著半導(dǎo)體制造向納米級精度邁進，曝光機高壓電源的數(shù)字化改造成為提升光刻質(zhì)量的核心環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)高壓電源在穩(wěn)定性、控制精度與系統(tǒng)兼容
電子束高壓電源故障診斷系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)與發(fā)展
電子束高壓電源是電子束熔煉、鍍膜、焊接等工業(yè)裝備的核心部件，其穩(wěn)定性直接影響工藝質(zhì)量和設(shè)備壽命。隨著高壓電源向高頻化、大功率方向發(fā)
高壓電源壽命延長技術(shù)在曝光機中的應(yīng)用研究
曝光機作為半導(dǎo)體制造、PCB光刻等領(lǐng)域的核心設(shè)備，其高壓電源的可靠性直接影響生產(chǎn)效率和成本。傳統(tǒng)高壓汞燈電源因壽命短（通常僅800&ndash
電子束高壓電源智能控制策略：精密焊接的核心引擎
電子束焊接技術(shù)憑借其能量密度高、熱影響區(qū)小、焊縫深寬比大等優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用于航空航天、核能裝備及精密儀器制造領(lǐng)域。作為電子束焊機的核
靜電卡盤高壓電源多電極協(xié)同供電的技術(shù)演進與應(yīng)用價值
在半導(dǎo)體制造工藝中，靜電卡盤（E-Chuck）的吸附穩(wěn)定性直接影響晶圓加工的精度與良率。隨著晶圓尺寸增大（如12英寸及以上）及制程節(jié)點進入
亞原子尺度的光：透射電鏡高壓電源的精密控制革命
在透射電子顯微鏡（TEM）技術(shù)領(lǐng)域，亞原子級成像的實現(xiàn)依賴于高壓電源的極致精度。作為電鏡的心臟，高壓電源為電子槍提供能量，直接影響電