技術(shù)資源
離子注入高壓電源效率優(yōu)化的多維路徑與技術(shù)演進(jìn)
離子注入技術(shù)是半導(dǎo)體制造的核心工藝，其精度直接影響器件的電學(xué)特性與可靠性。高壓電源作為離子注入系統(tǒng)的動(dòng)力心臟，其效率優(yōu)化成為突破半
靜電卡盤(pán)高壓電源的智能診斷技術(shù)：精準(zhǔn)監(jiān)控與故障預(yù)判的革命
靜電卡盤(pán)作為半導(dǎo)體制造、精密儀器組裝等領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備，其穩(wěn)定運(yùn)行直接關(guān)系到工藝精度與良品率。高壓電源作為靜電卡盤(pán)的核心動(dòng)力源，其工
電鏡高壓電源過(guò)壓保護(hù)機(jī)制的設(shè)計(jì)與應(yīng)用
高壓電源是掃描電子顯微鏡（SEM）和透射電子顯微鏡（TEM）的核心部件，負(fù)責(zé)提供穩(wěn)定的電子束加速電壓（通常達(dá)30 kV以上）。然而，電源波動(dòng)
蝕刻設(shè)備高壓電源負(fù)載匹配：精密工藝的核心挑戰(zhàn)
一、負(fù)載匹配的技術(shù)原理在等離子體蝕刻設(shè)備中，高壓電源通過(guò)激發(fā)反應(yīng)氣體形成等離子體，其中的離子在電場(chǎng)作用下轟擊材料表面實(shí)現(xiàn)刻蝕。負(fù)載
準(zhǔn)分子激光高壓電源散熱技術(shù)的創(chuàng)新與應(yīng)用
準(zhǔn)分子激光器作為紫外波段的高能脈沖光源，在光刻、醫(yī)療及精密加工領(lǐng)域具有不可替代的作用。然而，其高壓電源在工作時(shí)產(chǎn)生的巨大熱量（電能
高壓電源在靜電卡盤(pán)多通道同步中的關(guān)鍵技術(shù)應(yīng)用
一、靜電卡盤(pán)高壓電源的核心作用靜電卡盤(pán)（Electrostatic Chuck, ESC）是半導(dǎo)體制造、精密加工中的核心夾持設(shè)備，其依賴(lài)高壓電源（通常為
電鏡高壓電源遠(yuǎn)程監(jiān)控方案的設(shè)計(jì)與應(yīng)用
電鏡作為納米級(jí)觀測(cè)的核心設(shè)備，其高壓電源的穩(wěn)定性直接影響成像質(zhì)量與設(shè)備壽命。傳統(tǒng)人工巡檢模式難以滿(mǎn)足實(shí)時(shí)性要求，而基于智能傳感、邊
蝕刻設(shè)備高壓電源自適應(yīng)調(diào)節(jié)技術(shù)研究
在半導(dǎo)體制造中，蝕刻工藝的精度直接決定器件的性能與良率。高壓電源作為蝕刻設(shè)備的核心部件，其輸出特性的穩(wěn)定性直接影響等離子體的離子能
準(zhǔn)分子激光高壓脈沖時(shí)序優(yōu)化關(guān)鍵技術(shù)研究
準(zhǔn)分子激光器作為紫外波段的核心光源，其性能直接取決于高壓脈沖時(shí)序的精確控制。在光刻、精密材料加工等領(lǐng)域，時(shí)序偏差超過(guò)50 ns即可能導(dǎo)